Инженеры создали микроволновку для производства чипов с техпроцессом 2 нм
Ученые модифицировали микроволновую печь для производства чипов. Статья об этом изобретении опубликована в Applied Physics Letters.
С развитием электронной промышленности чипы становятся все меньше и меньше, и для их производства требуется более легированный кремний. Легирование — это внедрение в материал примесей для изменения свойств, но если примесей будет слишком много, нарушится структура кремния. В том числе, для этого используют фосфор, но при этом требуются концентрации фосфора, превышающие его равновесную растворимость в кремнии.
Специалисты компании TSMC нашли способ, как использовать микроволны для повышения доли легирующих компонентов. Простые микроволновые печи, в том числе бытовые, нагревают пищу неравномерно из-за возникновения стоячих волны, и это же явление мешает им способствовать легированию. Поэтому сотрудники компании совместно с учеными Корнеллского инженерного колледжа модифицировали микроволновую печь, чтобы выборочно контролировать место возникновения стоячих волн. Это позволяет правильно активировать легирующие элементы без чрезмерного нагрева или повреждения кремниевого кристалла.
Авторы разработки надеются, что с помощью этой технологии можно будет начать производство чипов с техпроцессом 2 нанометра уже к 2025 году.
Ранее корейские ученые изобрели «умную» татуировку для контроля состояния здоровья.
